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碳化硅表面喷涂氮化硅是否可以
氮化硅结合碳化硅制品，质地坚硬，莫氏硬度约为9，在非金属材料中属于硬度材料，仅次于金刚石。氮化硅结合碳化硅制品的常温强度高，在1200-1400℃高温下，几乎保持与常温相同时间的强度和硬度。随着使用气氛的不同，最高安全使用温度可达到1650-1750℃。
氮化硅结合碳化硅材料是国外发达国家如美国的Norton、Carborundum公司，德国的Annawevrk、HTK公司，日本TKR、NGK公司等于上世纪70年代广泛应用于砂轮、陶瓷、电瓷等待业的一种碳化硅特种制品。
碳化硅衬底在精研磨过程中，常使用氮化硅或氧化铝作为抛光液。这些抛光液可以提供较高的抛光效果，同时对碳化硅材料具有较好的兼容性。选择合适的抛光液取决于具体的应用需求和目标，以及所要达到的表面精度和光洁度等要求。
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